Loading...

제품소개

Wafer Loader / Wafer Unloader


모델명
EWL-100 / EWU-100

장비명
Wafer Loader / Wafer Unloader

장비개요
Loader : Wafer Cassette에 적재된 Wafer를 후단에 있는 장비로 자동 공급하는 장비.
Unloader : 생산 공정 중 마지막에 위치하여 Wafer를 Wafer Cassette에 자동으로 적재하는 장비.

장비특징
1. 조작반 터치스크린
2. 부져 기능이 포함된 3색 경광등
3. Lift Up/Down 서보 모터 (정밀 제어)
4. Wafer Cassette 적재 수량 : 1개
5. SMEMA Spec 1.2 준수


Model EWL-100 EWU-100
Wafer Size (inch) 6" & 8"
Machine Dimension (LxWxH, mm) 560x475x1200
Weight (kg) 100

* 옵션 장비 사양 문의 sales@eunil.com