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제품소개

Wafer Buffer Stacker


모델명
EWB-100

장비명
Wafer Buffer Stacker

장비개요
Timing Belt를 통해 선입선출 방식으로 Wafer를 자동 적재하거나 적재된 Wafer를 후단에 있는 장비로 자동 공급하며 장비간의 작업 시간 Balance를 유지하는 장비.

장비특징
1. 조작반 터치스크린
2. 부져 기능이 포함된 3색 경광등
3. Lift Up/Down 브레이크 모터
4. 최대 적재 수량 : 24 wafers
5. 기능 : Buffer (후입선출) only
6. SMEMA Spec 1.2 준수


Model EWB-100
Wafer Size (inch) 8" & 12" (Standard) // 6” & 8” & 12”(Option)
Machine Dimension (LxWxH, mm) 700x610x1300
Weight (kg) 200

* 옵션 장비 사양 문의 sales@eunil.com